應用材料發表AIx平臺 加速半導體技術從實驗室到工廠的創新突破

半導體設備大廠應用材料發表AIx（Actionable Insight Accelerator）可操作的檢測加速器，使工程師能夠即時查看半導體制程，對晶圓乃至單個晶片進行數百萬次測量，並優化數千個製程變數，以提高半導體效能、功率、單位成本和上市時間（PPACt）。

應用材料AIx平臺適用於所有應用材料公司的製程設備、eBeam測量系統和檢測系統，並可從實驗室延伸至工廠使用。AIx有能力爲研發階段開發的創新制程程式做特徵採集，加速由研發轉移至工廠並提升至大量製造的時程。AIx現今已經用在邏輯和記憶體晶片上，改善晶片的PPACt。

應用材料資深副總裁暨半導體產品事業羣總經理帕布．若傑（Prabu Raja）表示，對在半導體生態系統中的所有公司而言，加速PPACt裡的t（上市時間）是最大的價值驅動力。AIx以新的方式將應用材料的所有技術能力串聯起來，期使能縮短一半的開發時間，改善三分之一的製程容許變異窗口。過去三年來應用材料持續地開發AIx，期能爲工程師提供一套全新的工具組以解決我們產業日益複雜的挑戰。

應用材料AIx平臺包括應用材料製程反應室的新感測器和機器學習演算法ChamberAI，爲工程師提供化學、能源、壓力、溫度和持續時間等變數的即時分析。獨特的真空內測量，能夠測量沉積時的新薄膜，具有安斯特羅姆級的精度。基於應用材料eBeam測量的獨特演算法，測量速度比傳統方法提高100倍，解析度提高50％。工程師每小時可獲得超過100萬次的3D晶圓測量，以奈米等級來評估配方的微小變化如何影響晶片上的設計和結構。

AIx平臺包括精選應用材料反應室和系統的數位雙模組，這些模組和系統支援虛擬實驗，加速配方開發，改進配對和量產傳輸，並優化大量生產的產出和良率。AIx平臺包括使用機器學習和AI演算法儲存和分析大量資料所需的運算資源。

應用材料半導體產品事業羣集團副總裁拉曼．阿丘塔拉曼（Raman Achutharaman）表示，AIx可運用大數據和人工智慧，在半導體科技生命週期的各個階段，無論從研發到擴產再到大量製造，都可爲客戶帶來更好的結果。在優化製程程式至最佳的過程中，工程師得面臨成千上萬種的製程變數，但往往只有少數捉摸不定的關聯性纔是其中的關鍵。AIx能識別並放大了這種可操作的數據，滿足了工程師理解可調配的關鍵參數的需求，以加速產品開發的PPACt。

VLSIresearch執行長暨董事長Dan Hutcheson表示，應用材料以AIx平臺爲製程工程生態系統提供大數據分析，再次爲半導體產業增添實際價值。AIx超越過去數十年來以線性數據串流爲基礎的統計製程控制方法進入一個全新的多維世界，在這裡來自3D影像、現場測量和感測器的數據可以被疊加然後萃取成可以採取行動的資訊。應用材料的AIx是一套新的工具組，能加速研發，進而縮短時程，最終能更快獲利。