半導體製程朝「埃米」邁進 成大材料系成果登國際期刊

成大材料系助理教授徐邦昱（右二）團隊最新研發成果，讓半導體突破奈米等級，朝更微小的埃米邁進，登上國際期刊，備受矚目，而團隊成員包含碩士生楊永平、何承泰、黃宇瀚及許子承（由左至右）。圖／成大提供

近年來臺灣半導體產業鏈引領全球，目前半導體制程雖主要爲奈米等級，但產業界持續朝向更微小的「埃米（奈米的10分之1）」推進，國立成功大學材料科學及工程學系助理教授徐邦昱團隊，利用自行組裝的設備，讓半導體分子能自動整齊排列，操作精度達到埃米等級，打開半導體制程埃米紀元，成果更發表在國際期刊 Macromolecules，受到各界矚目。

徐邦昱表示，目前半導體制程主要是在微小的基板上，依靠相近的原子晶格，透過高真空磊晶設備控制長出晶體，再蝕刻提升精準度，要讓細小的分子乖乖聽話，長在該長的地方，很不容易，因此才需要價格昂貴的設備，營造潔淨單純的反應環境。

他提到，半導體制程已達到小於3奈米的線寬精度，但持續推向埃米精進，是產業的必然，更是大家現階段努力的方向，但礙於經費有限，研究的高度也常被迫屈就材料品質，因此，也期待與業者合作，挹注經費以獲得高品質的研究成果。

徐邦昱指出，分子間的作用普遍被認爲是無序、隨機與不可操控，而這項研究成果廣受國際注目，主要在於團隊利用分子間的埃米級電性，將不受控的二維聚集與三維線團，轉換成可受控的準三維自由度，驅動分子整齊排列在奈米溝槽中，成功打通埃米級操作分子的多項技術瓶頸，大面積量化操作液相分子有序化磊晶，將材料的操作精度推進至埃米尺度。

徐邦昱說，團隊成員包含材料系碩士生楊永平、何承泰、黃宇瀚及許子承等，研發過程中需要用到許多動輒上千萬元的先進儀器，但學生以較少的經費、自行動手組裝便宜設備，雖耗時又費力，卻能因此受惠，驗證基礎物理學，更增加學以致用的珍貴實作能力。

成大則表示，半導體產業是臺灣的「護國神山」，擁有領先全球的技術，業者長期投入鉅額資金研發，廠內設備動輒上億元，而成大是培養產業人才的搖籃，設備雖比不上大廠，但有責任帶領學生投身其中，該項成果證明創意與金錢並非等號，只要有心、有學以致用的專業能力與自我要求，就能做到。

成大材料系助理教授徐邦昱團隊最新的研發，讓半導體突破奈米等級，朝更微小的埃米邁進，成果刊登在國際一流的高分子期刊，文章刊出3個月，已有超過1400閱讀數。圖／成大提供