泰晶科技申請“降低石英傳感器件機械耦合誤差的方法”專利，降低石英傳感器芯片機械耦合誤差

金融界 2024 年 7 月 9 日消息，天眼查知識產權信息顯示，泰晶科技股份有限公司申請一項名爲“降低石英傳感器件機械耦合誤差的方法“，公開號 CN202410408708.4，申請日期爲 2024 年 4 月。

專利摘要顯示，本申請涉及石英傳感器件製備的技術領域，具體涉及一種降低石英傳感器件機械耦合誤差的方法，包括以下步驟：Z 切石英晶片上處理形成多個石英傳感器芯片，得石英傳感器晶片，其中，每一石英傳感器芯片側壁具有晶棱；石英傳感器晶片進行鍍膜形成第一金屬膜層；第一金屬膜層表面形成第一光刻膠；通過側面曝光方法對晶棱的第一光刻膠進行曝光；將第一光刻膠的曝光圖案轉移到第一金屬膜層，得暴露晶棱；通過石英溼法化學腐蝕方法消除暴露晶棱。本申請具有定點定位精確消除石英傳感器芯片側壁晶棱，降低石英傳感器芯片機械耦合誤差的效果。

本文源自：金融界

作者：情報員