繞道也要發展陸制7奈米 中芯砸1億留梁孟鬆 曝量產時間點

中芯國際。(圖/中新社資料照)

大陸晶圓代工龍頭中芯國際去年遭到美國商務部列入實體清單,美企被迫與該公司斷絕業務往來,但是在拜登政府上臺後,傳出半導體生產設備有望出貨給中芯國際,加上陸企廣泛在市場上收購二手設備,以及與荷商艾司摩爾(ASML)簽訂採購合約,就算美企供或遙遙無期也能有解方。由於中芯國際爲大陸少數擁有前進先進製程技術廠商,近期揭露資料顯示,中芯國際聯合首席執行長梁孟鬆獲得40萬股限制性股票市值約2400萬元人民幣(約1億元新臺幣)。

從中芯國際發佈的「2021 年第一次臨時股東大會決議公告」,覈准根據「2021 年科創板限制性股票激勵計劃內容,決議授予梁孟鬆40萬股中芯國際A股限制性股票,若以6月25日收盤價來計算,換算價值爲2372.4 萬元人民幣。

中芯國際去年下半年先是遭到美方列入出口管制措施,導致無法取得先進製程設備,更讓14奈米制程之後的N+1、N+2製程研發受到影響,最後更是被列入貿易黑名單,要出貨都須經過美國商務部覈准。去年12月間,原臺積營運長、前武漢弘芯執行長蔣尚義將回鍋中芯國際,並擔任該公司副董事長,卻導致原爲臺積電前研發處長的梁孟鬆憤而遞交辭呈。

蔣尚義在回鍋中芯國際前也提到,將加強發展先進封裝技術與小晶片研發,梁孟鬆則是堅持發展先進製程,最後雙方似乎和解,並一同名列在中芯國際董事會上,一來中芯國際依靠自身實力深化成熟製程發展,並在今年3月公告,與獨家供應紫外光(EUV)曝光設備的荷商艾司摩爾(ASML)簽下一份12億美元的深紫外光(DUV)微影設備訂單

資深業界人士透露,除了EUV曝光機,中芯國際幾乎取得可以拿到的所有型號曝光機,包括臺積電在生產第一代7奈米制程(N7)使用的DUV曝光機,透過DUV的193nm浸潤式ArF微影生產。不過,業界人士認爲,使用DUV曝光機透過液體浸潤多重曝光後雖能縮小線距,但要做到與EUV的13.5奈米波長等效,也就是達到臺積電7奈米制程的良率成本,恐怕還有一大段距離,但這已經是面對美國禁令下可以採取的手段

據《新浪財經報導,梁孟鬆透露,目前中芯國際的28奈米、14奈米、12奈米以及N+1製程都進入規模量產,最新開發的7奈米制程也已經完成,預計2022年就可以投入風險量產。

梁孟鬆指出,至於5奈米、3奈米制程研發最關鍵的8大技術也已經展開計劃,就等待EUV曝光機到來,實際上7奈米以下製程只落在開發階段,因爲缺少EUV曝光機。