嘟!
嘟!
嘟!
隨着萬寧古的一聲令下,光刻室內的報警器閃爍着紅光,發出警報,提醒在場的工作人員集中注意力。這一次的光刻模擬實驗鳴芯製造公司要投入大量的資金,每一步都要小心謹慎才行。
比如說,光刻掩膜片、光刻膠、電能、中間試劑等損耗品,價格都非常高。這些費用算下來,比真正做一次流片的成本也少不了多少。
故此,萬寧古此時的表情非常緊張,目不轉睛的盯着第三代光刻機的主控操作界面。隨着光刻機激光頭和觀課工作臺的運動,他的嘴角也不由自主的抽抽着,嘴裡在念念有詞。
“應該沒問題!”
“這次一定會成功!”
光刻流片的精度已經超過人類目測的能力範圍,工作人員不可能當場就看到激光曝光後的光刻效果。特別是採用FinFET製程技術以後,光刻流片的製程工藝更加複雜,工作人員只能從監視器上看到模擬的光刻過程。
所以說,萬寧古即便再着急,也只能等到這臺第三代光刻機完成光刻曝光的流程才能得知此次模擬光刻的效果。
相對而言,對這種高端工藝不精通的許振鳴來說,這僅僅只是一次普通的實驗。“即便這次實驗不成功,我們公司也算創造了歷史。”他目光柔和的掃視了一眼整個光刻室。
在另一個時空,華夏國的第三代國產光刻機、浸入式光刻製程工藝技術、FinFET製程技術等高端芯片Foundry製程技術,都要等到老外玩膩了才能攻克。而現在,一鳴集團公司的這般技術專家,已經做得很好了。
“不要慌,一次不成功咱們再來一次。”許振鳴給萬寧古等人減壓。對於萬寧古等人的調試速度,他還是比較滿意的。
這時。
“停下!立即終止實驗!”萬寧古盯着監視器,嘴裡大喊了一聲。
“怎麼了萬總?”
“什麼地方出了問題?”
“喔……哎……”
其他的技術員都把目光投向了監視器的屏幕。精通芯片Foundry技術參數的技術員,此時滿臉的懊惱之色。
只見監視器的屏幕上,此時閃耀着報警信號,提示光刻曝光的座標數據、深度數據、激光能量數據都有問題。
看到這種情況,負責操作的技術員已經按下急停控制按鈕。
“嘟……”
“嘟……”
“嘟……”
在警報聲中,光刻系統的各個子系統開始緩慢的停下來。
看到這一幕,衆人的臉色都不好看。
“一千八百萬沒了!特麼的,老米的激光光路系統也不靠譜!”
萬寧古陰沉臉,目光中滿是怒火。
在他看來,這臺光刻機讓他最放心的子系統應該是老米的激光光路系統。而從現在表現的故障來看,卻正好是激光光路系統出了毛病。
萬寧古怎麼能不生氣?
其他的工作人員也是一樣,滿臉的懊惱之色。
大部分的技術員都用眼角的餘光偷偷看向許振鳴,想要了解一下老闆的心裡動向。一次實驗花掉將近兩千萬,哪個老闆也不會有好臉色的。
在偷偷打探老闆心思的同時,衆人幾乎都保持沉默,誰也不敢亂髮表觀點。
這時,胡明鎮的學生樑宋鬆皺了皺眉頭,提出不同意見,“萬總,我認爲出現這種情況的原因比較複雜,不一定是激光光路系統出了毛病。”
“嗯?”萬寧古收回凝重的目光,看向樑宋鬆。
衆人當中,樑宋鬆的芯片Foundry製程經驗很豐富,說出的觀點很有道理。
看了幾眼樑宋鬆,他才挪開目光,跟許振鳴的目光一碰,“許董,我…我們大概需要三四天的時間才能找出原因。”
“沒關係。”許振鳴露出一絲笑容,臉上的表情很輕鬆,好像並沒把此次試驗的失敗放在心上。
“我估計還要試驗兩三次才能找出真正的故障原因。”
“沒問題,試驗經費的申請報告我會立即批准。”許振鳴笑了笑,微微一擺手。
他隨後朝所有人掃了一眼,“大家不要灰心,先去吃午飯。吃完飯咱們纔有力氣討論技術問題。”
許振鳴做出很輕鬆的表情,就是要給萬寧古等人減壓,讓衆人不要揹着包袱來搞科學實驗。
可是作爲項目負責的領頭人,萬寧古哪有心思吃得下飯。他捧着銀色的快餐盆,眉頭緊鎖的坐到樑宋鬆的對面。
“老樑,你剛纔說光刻機的主體系統有問題?”萬寧古舉着筷子問樑宋鬆,並沒把夾到筷子上的紅燒魚塊往嘴裡送。
樑宋鬆一向比較講究言行舉止,很少在吃飯的時候討論工作。他把工作和生活分得很開,和米國佬的文化很接近。故此,他在另一個時空會不停的流浪,從米國到灣灣,從灣灣到高麗國,再從高麗國到大陸。
看着眼前着急尋求靈感的萬寧古,樑宋鬆放下手中的筷子,掏出白色的紙巾,斯條慢理的擦了擦嘴角,才微微一笑,“老萬,你先把筷子上的魚塊消滅了再說,免得魚塊掉進快餐盆裡濺起無數的菜湯。”
樑宋鬆的動作很優雅,一舉一動都透露出米國白領的高雅氣質,沒有第一時間回答萬寧古的提問。
“這魚兒…跑不掉。”對面的萬古寧嘟噥一句,把筷子上的魚塊送進嘴裡。隨着這一送,他逐漸冷靜下來,說出的話也包含深意。
萬寧古知道樑宋鬆的心態一直不穩,對鳴芯製造公司的忠誠度不高,此時已經冷靜了下來,也沒打算從樑宋鬆的嘴裡得到好的思路。
“激光光路系統和光刻機主體有關聯傳動,微量的震動量、電磁的干擾量、熱能的膨脹量等等,都會影響到激光曝光的穩定性。所以,我們應該從光刻機的主體系統來考慮問題。”
這時,樑宋鬆一邊疊着紙巾一邊說話,臉上浮現出胸有成竹的微笑。也不知道他出於什麼心思,此次此刻居然說出了自己的思路想法。
“嗯!有道理。”萬寧古聞言猛然一驚,激動的拍了一下塑鋼餐桌。
隨後,他放下手中的筷子,眼冒精光的嚷嚷,“我們應該立即分頭實驗,一部分人測試激光光路系統,一部分人檢測光刻機的主體系統。這樣最節省時間!”
經過樑宋鬆一提醒,萬寧古迅速找到靈感,一條成熟的思路瞬間形成。無論怎麼說,他這次還是要感謝跟前的謙謙君子樑宋鬆。
找到了靈感,萬寧古也沒什麼心思坐在這裡吃午飯。他立即站起身來,急匆匆的離開了職工餐廳。