“許董,按照目前的情況來看,我們集團公司生產的激光光路系統應該能跟老外的光刻機配套。”胡明鎮只有九層把握,並沒有把情況說死。他還是有點擔心這套激光光路系統不能提供精準的激光光源。
光刻機的原理和照相機的原理基本一樣,都是用曝光來成像。但第三代光刻機的精度非常高,最低可達到0.018微米。倘若再使用FinFET製程技術和浸潤式光刻製程技術,精度要達到0.01微米以下。
由此可以想到,第三代光刻機對激光光源的功率、穩定性的要求肯定非常高,一般的國家不能生產這種尖端設備。這也是胡明鎮所擔心的事情。
胡明鎮一邊說話,一邊指揮着李全等人怎麼組裝激光發生器、光學儀器、光學鏡頭等精密設備。這套裝配流程非常重要,能直接影響到激光光路系統的精度和可靠性,胡明鎮不得不小心行事。
“裝配工作什麼時間能完成?”
看到李全等人的進度不是很快,許振鳴認爲站在這裡沒啥意思,準備再去隔壁車間巡視一下。臨走之前,他向胡明鎮要了一份這臺光刻機裝配和調試的工程進度表。
“許董,如果一切順利,我們會在元月28日左右開始試生產,並且用這臺光刻機來流片。”胡明鎮比較忙,跟許振鳴說了幾句,又開始投入工作。
許振鳴見此,拿着一摞用A4紙打印的資料,一邊翻看着一邊朝隔壁的車間走去。
“三天內完成設備組裝和安裝,五天內調試好這臺設備,第九天以後開始做試生產的準備…嗯,這個計劃還算可以。”
許振鳴一邊走路一邊頷首點頭,認爲胡明鎮的工作做得不錯,準備很充分。
不多久,他來到4號鋼構廠房的另外一個光刻室。
這間光刻室是用來安裝國產光刻機的生產車間。
車間裡此時也非常忙碌,萬寧古、何昌林和郝寧等人也正在裝配第三代光刻機。
他們這邊的進度好像要快了許多,激光光路系統的部件已經組裝完成,光刻機的主體系統也已經組裝好。萬古寧等人正在召開現場討論會,好像要準備進行光刻機的總裝工序。
看到這種情況,許振鳴倒是不理解,“老萬,你們這邊的進度爲啥要快一些?”
“許董,這臺光刻機的主要部件我們都已經準備好,就等着總裝和調試。”萬寧古告訴許振鳴這臺光刻機的激光光路系統是進口貨,其實根本不要檢驗其性能。最關鍵的事情就看光刻機總裝以後的效果。
“光刻機的精度主要是受主體系統、底座、橫移、減震等子系統的影響。萬一這臺設備的主體機械系統精度不夠,我們的項目還是沒成功。”
說到最後,萬寧古的眉毛全都皺了起來。他對這臺光刻機主體系統的精度很擔心,心裡沒有十足的把握。
聽到這話,許振鳴的心情也好不起來。“你們需要多長時間來準備?”念及此,許振鳴想要知道萬寧古等人的總裝和調試計劃。
“三天左右吧。”何昌林掃了一眼現場的情況,緩緩說道。
“三天恐怕不行,最少要五天時間。”
“最多五天時間,許董。五天以後,我們就能做流片試驗了。”
萬寧古和郝寧等人的意見還不統一,一個說要三天多,一個說要五天時間。
看到這種情況,許振鳴微微點了點頭,“好,五天以後我再看你們的成果。”說完這些,他也沒心思在這裡等待着,拿着一摞報表資料就離開了4號鋼構大廠房。
五天後的上午九點左右,許振鳴再一次的來到這間光刻室,想要了解萬寧古等人的項目進度情況。
這時候,車間裡已經整理乾淨,一臺組裝好的光刻機矗立在車間的正中央。
這臺光刻機就是萬寧古等人的勞動成果,主體系統全是一鳴集團公司自己製造的,激光光路系統是從此米國佬光刻上拆下來的樣品。
“準備開機,先啓動冷卻循環水交換器系統。””萬寧古此時拿着對講機,給手下的團隊成員們下達命令。
看到許振鳴走來,他嘴角含笑的告訴許振鳴,“許董,這臺國產光刻機我們已經完成初步調試,到目前爲止還沒有發現問題。”
萬寧古告訴許振鳴,一天以前他們就已經完成光刻機的總裝,第一次初步調試發現有問題,國產激光光源系統的散熱有缺陷會影響第第三代光刻機的性能。
“所以,我們臨時增加一個循環水的冷卻系統來給這臺光刻機降降溫。”萬寧古笑了笑。
許振鳴不瞭解這些技術細節問題,只是對這臺光刻機的成功時間節點感興趣。“你們現在準備幹嗎?馬上要調試了麼,嗎”他側臉朝萬寧古等人看了一眼。
“許董,我們現在就是在測試這臺光刻機。”
“還有一個小時,我們就能做流片模擬實驗了。”
何昌林等人給出許振鳴明確的答覆。由此看來,他們已經對這臺國第三代光刻機進行過初步調試和試生產,否則沒有這麼大的底氣。
聽到這話,許振鳴的心情倒是好了許多。他靜靜的的站在那裡,目光落在萬寧古等人的身上。
“報告萬總,循環水冷卻系統已經啓動完畢。”
“萬總,空氣淨化抽菸系統已經啓動好,我們隨時能開始做光刻模擬實驗。”
“萬總,咱們現在就開始麼?”
不多久,萬寧國手下的工程師已經完成工作,紛紛走來把自己負責檢查的結果彙報一遍。事實上,不用他們彙報情況,萬寧古其實也已經知道這臺設備的數據結果。
此時此刻,這臺光刻機的主工作站,顯示器上正顯示着各項數據。這些數據就是光刻機各個部件的實時數據。比如說,光刻車間裡的溫度、溼度、車間裡的灰塵顆粒物的大小等。
但萬寧古卻沒有按照光刻機工作站的屏幕,顯示的數據來作爲判斷。他還是安排人員,去一項數據一賢數據的排查,覈對實時數據。
經過一番比對,萬寧古再次看了看手中的數據表格文件,發現一切數據都正常。他隨後朝下的團隊成員猛然一揮手,“開始!咱們立即開始做光刻模擬實驗。”