臺積電2奈米 寶山建廠啓動

臺積電3奈米及2奈米先進製程佈局

晶圓代工龍頭臺積電位於竹科寶山二期的2奈米晶圓廠Fab 20建廠計劃啓動，竹科管理局局長王永壯20日表示，竹科管理局已將部分用地租予臺積電，臺積電將可展開整地作業，估計最晚將於6月取得所有用地。另外，世界先進評估興建12吋廠且有意進駐銅鑼園區設廠，王永壯表示待環差案通過將進行用地分配。

■竹科寶山將成2奈米重鎮

王永壯表示，竹科寶山二期擴建計劃進展順利，經過幾十次溝通，已有超過九成的地主同意價購徵收，新竹縣政府將於4月底公告徵收，估計最晚將於6月取得所有用地。同時，管理局3月已將部分用地租予臺積電，臺積電可以展開整地作業。

臺積電預計在竹科寶山二期興建Fab 20超大型晶圓廠，未來將成爲2奈米生產重鎮。設備業者指出，臺積電Fab 20廠區將分爲第一期到第四期、共興建4座12吋晶圓廠，預計2024年下半年進入風險性試產，2025年進入量產。臺積電2奈米制程將採用奈米層片（Nanosheet）的環繞閘極（GAA）電晶體架構，技術開發進度符合預期。

臺積電2奈米之後的更先進製程將進入埃米（angstorm）時代，業界預期，臺積電後續將推進到18埃米（1.8奈米），但尚未決定設廠地點。設備業者評估，臺積電2奈米需求強度若優於預期，竹科用地不足，將可能轉赴臺中建立2奈米及18埃米等先進製程晶圓廠，中科二期用地已納入考慮。

臺積電去年進入2奈米N2製程技術的開發階段，着重於測試載具設計與實作、光罩製作及矽試產等，主要進展在於提升基礎製程設定、電晶體與導線效能。在微影技術部份，臺積電研發組織藉由提升晶圓良率達到可靠影像以支援3奈米試產，並提升極紫外光（EUV）的應用、降低材料缺陷與增進平坦化的能力，以支援2奈米技術的開發。

■世界可望進駐銅鑼園區

另外，王永壯透露，世界先進有意進駐銅鑼園區設廠，待環差案通過，將進行用地分配。由於8吋晶圓設備價格愈來愈昂貴，同時許多設備廠已停產8吋設備，無法找到完整設備興建新的8吋晶圓生產線，因此，世界先進董事長方略於日前法人說明會中曾指出，世界先進後續若要蓋新廠，的確會以12吋晶圓廠爲首選。

方略當時提及，世界先進興建12吋廠尚無時間表，要等到目前晶圓五廠的8吋晶圓量產後，纔會評估是否興建12吋廠，另外，12吋廠爲全新建置的生產線，世界先進評估會希望以新竹或臺灣其他區域爲主。