氫氟碳化物將總量管制免驚 臺積電這樣說

臺積電。（路透）

關於環境部將管制半導體制程清洗元件所需的氫氟碳化物議題，再度被外界關注，不過該議題討論已久，國內龍頭半導體大廠多已有接軌法規的準備。臺積電（2330）今（6）日迴應也提到，針對氫氟碳化物（HFCs）的使用，臺積公司將配合主管機關規範，同時持續開發與導入製程使用削減技術，並加速長期在替代化學品的相關研究。

臺積電迴應該議題全文如下：

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