國內首條12英寸智能傳感器晶圓製造產線項目在廣州增城投產

6月28日，增芯舉行國內首條12英寸智能傳感器晶圓製造產線項目投產啓動儀式。該項目位於增城經濟技術開發區核心區，一期投資70億元，建設月加工能力達2萬片的12英寸MEMS製造生產線。預計今年底實現產品交付客戶。

增芯是在增城落地的第一家芯片製造企業，其12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓製造產線項目是廣東省、廣州市重點項目，對增城乃至廣州、廣東集成電路產業發展具有重要意義。

“芯片有了增城造”

走進增芯項目主廠房參觀通道，可直觀瞭解芯片製造生產過程。芯片製造對潔淨環境要求非常高，記者在現場看到，包括光刻機、幹法刻蝕機等在內的晶圓加工設備以及各種檢測和測試設備有序擺放，整個操作車間一塵不染，工作人員身穿潔淨服進行操作。目前項目一期潔淨間面積達1.6萬平方米，預計2025年底能達到月產2萬片的目標。

芯片製造類似樂高蓋房子，先用晶圓作爲地基，再層層往上疊加芯片製造流程，重複若干次，產出相應的芯片。“增芯可以在增城生產第一批芯片產品了。”現場，增芯總經理張亮難掩內心激動。

據介紹，芯片完整的製造流程涉及氣相外延、氧化、PVD/CVD、光刻、刻蝕、離子注入等步驟，分別對應不同設備。舉行投產啓動儀式，意味着項目已建立起製造系統，整個生產流程能夠連貫地運作，後續將通過產品良率提升和產能爬坡，加快產品交付工作。

“隨着工業互聯網、大數據、物聯網等新一代信息技術的快速發展，先進智能傳感器芯片大有可爲。”張亮表示，產品將主要應用於新能源智能汽車、超高清視頻顯示、高端裝備、5G、人工智能、工業互聯網等領域，能極大滿足大灣區在相關優勢產業領域對半導體及集成電路的龐大需求，加快補齊產業鏈短板，突破產業關鍵核心技術，提升產業鏈供應鏈穩定性和安全性。

“現代活力核”迎來“芯”景象

作爲廣州東部中心“現代活力核”的重要承載區，增城加快構建以“芯顯車”爲主導的現代化產業體系，並在“芯”產業方面不斷實現突破，智能傳感器全產業鏈雛形初步形成。

增城在廣州集成電路“一核兩極多點”中扮演着重要角色，主要聚焦智能傳感器和芯片製造領域。在鏈主企業增芯的牽引之下，增城已引進落戶越海、廣東微技術工研院、中微廣州、智達星空等一批能級高、帶動力強的骨幹項目。

爲推動全產業鏈條完整集聚，增城同步打造廣東省首個獲批的智能傳感器特色產業園，形成包括增城經濟技術開發區核心區組團、電子材料組團、科教城組團、公鐵聯運組團4個組團，以製造爲核心的“一核一圈四組團”空間佈局，覆蓋生產製造端、裝備製造端、創新平臺端、封裝測試端、材料供應端、芯片設計端、終端應用端，預計到2035年形成千億級智能傳感器產業集羣。

當前，增城正全力以赴優化營商環境，大力支持增芯等重點項目建設，做好全鏈條要素保障，保障項目順利投產；增城海關加快智慧海關建設，將口岸查驗指令調整爲由目的地海關到廠執行，配合企業生產流程第一時間到廠檢驗，做到隨到隨檢，一次開箱、一次驗放。

同時，增城積極制定出臺和推動各項扶持政策落實，在健全完善產業鏈條、提升產業創新水平等方面予以政策支持，加快集成電路及智能傳感器產業發展，爲培育壯大現代化產業體系提供堅實支撐。

文｜記者 馬燦 通訊員 增宣圖｜通訊員提供