福建金石能源取得一種適用於PECVD設備的多射頻電源輸入系統專利，使鍍膜更均勻

金融界2024年10月25日消息，國家知識產權局信息顯示，福建金石能源有限公司取得一項名爲“一種適用於PECVD設備的多射頻電源輸入系統”的專利，授權公告號CN 221861578 U，申請日期爲2023年12月。

專利摘要顯示，本實用新型涉及PECVD設備領域，公開了一種適用於PECVD設備的多射頻電源輸入系統，其包括射頻電源、多路射頻電源控制器和射頻電源饋入點。射頻電源設置有兩個及以上。多路射頻電源控制器上設置有多個連接端口，連接端口分別與各個射頻電源一一連接，用於獨立控制各個射頻電源啓停以及調節各射頻電源輸出射頻終端的相位、頻率大小。射頻電源饋入點位於設備腔室的極板上，並與射頻電源的輸出端一對一電性連接。本實用新型將多個低功率射頻電源連接到極板的各個腔室饋入點上，疊加輸出高功率射頻到PECVD腔室，從而使腔室起輝，實現鍍膜的效果。相比於使用單個高功率射頻電源，具有鍍膜更均勻、應用端更成熟、成本低的優勢。

本文源自金融界