邁爲股份取得真空鍍膜設備的加熱器及鍍膜設備專利,可以對大尺寸鍍膜基板各位置進行差異性加熱,有效縮小同一基板上硅片之間存在的溫差,提高鍍膜均勻性

金融界2024年6月4日消息,天眼查知識產權信息顯示,蘇州邁爲科技股份有限公司取得一項名爲“一種真空鍍膜設備的加熱器及鍍膜設備“,授權公告號CN221071630U,申請日期爲2023年11月。

專利摘要顯示,本申請公開了一種真空鍍膜設備的加熱器及鍍膜設備,屬於真空鍍膜領域。一種真空鍍膜設備的加熱器,該加熱器包括加熱板,所述加熱板包括四周區域和中間區域;所述四周區域的表面全覆蓋式設有用於改變加熱板四周區域熱輻射率的第一圖案化層;所述中間區域的表面部分覆蓋式用於改變加熱板中間區域熱輻射率的第二圖案化層;所述第一圖案化層和所述第二圖案化層爲氧化層、噴塗層或者鍍膜層。本申請可以對大尺寸鍍膜基板各位置進行差異性加熱,有效縮小同一基板上硅片之間存在的溫差,提高鍍膜均勻性。

本文源自:金融界

作者:情報員