第093章 光掩模製版

令餘子賢興奮的是,在蔡俊傑的研究資料裡面看見了光刻技術工序工藝中,與最重要工藝的電子束曝光系統對應的微米級掩模的製造。

聽着好像有點繞口、難懂,但是要說這種微米掩模技術的先進性,還得從掩模技術的發展說起。

芯片的生產流程圖簡單來說要經過IC設計、製版、芯片加工,封裝、測試包裝幾大環節,如果簡單地打個比方來說,如果比喻成一本書的印刷的話,就是:寫作、排版、印刷、裝訂、檢驗、打包。

而前面說的掩模對應書本印刷裡面的排版,只要排好版了,對着版面印刷,才能印出一本整齊漂亮的書。同理,在芯片加工之前,需要將設計好的芯片版圖進行製版,只有以此爲模板,進行芯片製造光刻,才能製造出裸晶,再這些裸晶中檢測挑選出好的,最後芯片進行封裝,纔算是一顆可用的芯片。

再往細了說,就是光刻工藝是芯片製造中最爲重要的工藝步驟之一。主要作用是將掩膜板上的圖形複製到硅片上,爲下一步進行刻蝕或者離子注入工序做好準備。

在芯片製作過程的光刻工序,通常需要經過多次光刻工藝,在半導體晶體表面的介質層上開鑿各種摻雜窗口、電極接觸孔或在導電層上刻蝕金屬互連圖形。

而光刻工藝需要一整套(幾塊多至十幾塊)相互間能精確套準的、具有特定幾何圖形的光復印掩蔽模版,簡稱光掩模版。

光掩製造技術是隨着平面工藝的誕生逐漸發展起來的。

在1963年共和國就已經研製成功了平面晶體管和硅數字集成電路。這時候就是沿用的傳統的照相術,首先在銅板紙上噴塗一層黑漆,然後用手術刀人工刻圖、截圖,採用大型照相機照相製成掩模板。

等到七十年到,共和國從曰本引進一批聚酯紅膜刻圖機和可在超微粒幹版上曝光的E線分步重複曝光機,纔算是擺脫人工進入了機械製造光掩模的能力;而八十年代,掩模技術設備再次更新換代,在建立滿足自身光學掩模生產所需的鉻板的同時,又利用中美蜜月期,引進了一批高精度光學制版設備,包括可變光闌式圖形發生器,還有與之配套的GCA公司的精縮機。此時共和國的掩模製版能力跨上了一個大臺階,也是光掩模技術製造業的鼎盛時期,最接近國際光掩模製造水平的高光時刻。

可喜隨着進入90年代,國際進入亞微米集成電路和亞微米加工技術的實際應用,共和國的光刻技術以及光掩模技術再次到了設備高興週期。

而此時,隨着國際政治環境的變化,共和國引進之門被巴統禁運徹底關上。

蔡俊傑正開發的掩模技術直接影響着掩膜版的質量,而光掩模版的質量優劣不僅僅直接影響着光刻工藝的質量,還影響着半導體器件或集成電路的電學性能、可靠性和芯片成品率。

不如說佟若愚之前說的3微米工藝芯片的良率從59%有希望提高到70%以上,就是因爲如此。

芯片成品率隨着掩模版的缺陷密度的增大而按負指數關係急劇下降。據推算,若要達到95%以上的成品率,掩模版的缺陷密度必須控制在每平方釐米0.175 個以下。如果缺陷密度增大到每平方釐米1.25個,則成品率因缺陷的直接影響會下降到65%以下。因此,根據佟若愚的說法,此時蔡俊傑的掩膜版技術應該是取得了突破。

而這個突破是餘子賢非常看重的,就憑這個技術,這個廠子收購下來都值了,餘子賢可不打算一直在3微米左右混。4英寸的晶圓最小可以加工1.2微米工藝的芯片。餘子賢希望在收購回來的1-2年來達到這個標準。

共和國此時打算上馬的908工程,因爲各種原因,可是到98年纔打到0.9微米的,國內其他合作項目也是在1995年才跨國1微米的門檻,進入到亞微米技術的。

只有領先纔有飯吃,縱使做不了全球技術領先,但是可以引領國內技術的發展,爲自己爭取更多的話語權,這有這樣,共和國電子工業纔有崛起的希望!才能避免像前世一樣,跟在別人後面一直在吃土!

想通這些之後,餘子賢又給蔣月華打電話,告訴已經打算收購蔡氏晶圓廠的決定,讓他那邊可以啓動盡職調查,還有貸款程序。

他得回內陸一趟,想想辦法看能不能搜刮些錢,他實在不想抽乾金拱門的流動資金啊,那都是本錢,會下崽的搖錢樹啊!魔方智慧是更沒有可能了,現在他的資金鍊剛持平,大計劃當前,更加不敢亂動!

之後,又和蔡老闆簽了個收購協議。

到此時,餘子賢才覺得自己可用的人手真是太少了,什麼事情都得自己跑!

他現在有了一絲期待,不知道蔣月華什麼時候從匯豐銀行正式離職,到時候怎麼都得想辦法挖過來,金融這一塊對方是專業,可以讓自己少操多少心!

這邊事情安排好之後,餘子賢和郝萌又返回了羊城,準備做飛機返回燕京。

可是當天的飛機直飛燕京的沒有了。兩三天之後倒是有,可是時間等不及啊!

今天已經是2月2號了,按照老爺子的計劃,在8號左右好像有一個燕京全市表彰大會,非要餘子賢去參加,說什麼有驚喜之類的。

這還有五六天了,先把自己的事情辦好,完了參加會議,春節前《看圖猜成語》遊戲又要上線,到時候自己也得參加,這都是一堆事情!

今天怎麼都得走,不然事太多,時間來不及!

沒辦法,兩人只好買了中轉廈門的機票。

郝萌這邊的事情也算是告一段落了,現在回去可以在家過一個春節了。

餘子賢有個不知道是好還是壞的習慣,每次坐火車或者做飛機的時候都要把自己排空放乾淨,不然總感覺在火車或者飛機上上廁所太麻煩不自在。

這次也不例外。餘子賢讓郝萌先上,他先在大廳上了個洗手間,等餘子賢登機的時候,前面的人已經登機一半有餘了。

排隊安檢,餘子賢前面正好一個拎着密碼箱的小夥子,看起來很煩躁的樣子,神態有些慌張。餘子賢沒有在意,以爲對方是不是身體有什麼不舒服的。

這個小夥子也就20餘歲,很年輕,身高1米7左右。一身西服,他一手拿着一束塑料制紅玫瑰,看起來是個有情調的有錢人。

不過大家都順利的通過安檢,兩人也依次順序登機。

餘子賢在登上飛機進入機艙門的剎那,突然一陣心悸,說不來的莫名煩躁,只當是等坐飛機的心底一絲恐懼,沒有在乎。

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