顧律的眉頭輕輕皺起。
據他所知，這種米國新型的Buehler Phoenix Bets型拋光機，拋光精度，應該能達到0.1納米左右。
而據黃師傅所說，他們通過這臺設備，拋光後得到的硅晶片，精度最高的一次才爲1.06納米。
兩者差了十倍。
這個數據不對，很不對！
一定是哪個環節出了問題。
硅晶片，準確的來說是屬於材料學領域。
但各學科之間是相互關聯的。
顧律在鑽研物理學中的半導體物理的時候，不僅研究了硅晶片中原子狀態和電子狀態以及各器件內部電子過程，還對硅晶片的整個製作流程，查閱了相當多的專業書籍和文獻。
否則，他也不會在郭院士面前，大包大攬的承接下此事。
只不過，面前的情況，確實讓顧律有些想不通。
要麼，就是設備本身有問題，海躍公司從米國進口來的這批設備是假貨！
但這機率不大。
要麼，就是在操作過程中，在哪個環節出了紕漏。
顧律曾在一本書中，看到過Buehler Phoenix Bets型拋光機的結構圖紙。
顧律把眼前的設備和記憶中圖紙上所描述的結構對比了一下，發現完全是吻合的。
那應該就不是買到假貨了。
顧律起身，拍拍手上的塵土，對黃師傅笑着開口，“黃師傅，實際上機操作一下吧，我看一下效果。”
黃師傅點點頭，幾分鐘後拿着一塊未經過拋光處理硅晶片回來。
跟着黃師傅回來的，還有幾位穿着工作服的年輕員工。
好奇的目光，打量着張經理身旁身姿挺拔的顧律。
“黃師傅，開始吧。”在幾人的注視下，顧律泰然自若，目光望向黃師傅。
拋光機的操作很簡單。
插上電源，將硅晶片擺放在相應的夾具上，最後加入拋光液。
按下紅色按鈕，啓動機器。
拋光機開始工作起來。
顧律就圍着這臺拋光機，全方位的觀察。
周圍的衆人全部屏住呼吸，靜靜的等待着。
於是乎，這片區域內，除了機器轉動的聲音外，只剩下顧律在地面上踱步的聲音。
時間在一點點流逝。
這種新型的拋光機，拋光時間是三十分鐘。
“不應該啊！”顧律摸着下巴，喃喃一聲。
眼前發生的事情，確實觸及到他的知識盲區了。
黃師傅放置的硅晶片位置，雖然在一定程度上，導致在拋光過程中切削深度的增加，但也不至於，精度會比預計的數值增加十倍。
機器的工作過程，顧律全程看下來了，也並沒有發現什麼異常。
按理說，十倍的精度差，不可能出現纔對。
難道今天要翻車了？
在拋光時間快要結束的時候，顧律目光瞥了一眼黃師傅背後，接着視線緊緊鎖住那個藍色的塑料液體瓶。
對了，拋光液！
顧律腦中靈光一閃，瞬間明白問題的關鍵所在。
在拋光過程中，除了拋光機以及被拋光的物件，用來進行輔助拋光作用的拋光液，也能極大的影響被拋光物件的精度。
往往，不同型號的拋光機，不同被拋光的物件，最適宜使用的拋光液是不同的。
“你們用的是哪種拋光液？”顧律沉聲問道。
“呃……”黃師傅愣了一下，隨口回答，“我們現在使用的納米三氧化二鋁粉末拋光液。”
林經理一臉緊張的看向顧律，“顧先生，有什麼問題嗎？”
有問題，問題大了！
納米三氧化二鋁粉末當做磨料，加入Buehler Phoenix Bets型拋光機，進行單硅晶片的精密拋光，本身就是極爲不智的一種舉動。
因爲三氧化二鋁這個東西，實在是太硬了啊！
即便是納米級別的三氧化二鋁粉末，硬度也不會減少。在拋光過程中，肯定會對硅晶片造成損傷。
另一方面，根據Preston公式，MRR=ρwNV。
拋光磨料硬度越高，對應的切削深度越大，塑性磨削作用越弱。
他想，他已經知道，爲什麼使用新設備拋光後的硅晶片，在精度方面一直達不到要求了。
“拋光液用錯了。”顧律眼神的平淡的看了張經理一眼，開口說道。
“難道不是用三氧化二鋁粉末拋光液嗎，我之前在國營大廠裡，一直都是用的這個。”說話的是黃師傅。
顧律笑着開口解釋，“對於那些精度不高的硅晶片，使用納米三氧化二鋁粉末當然沒問題，因爲製備簡單，成本還低，但對於高精度拋光機，這種高硬度的拋光磨料，就明顯不適用了。”
“那顧先生，我們應該用哪種，當做納米磨料？”張經理問。
“二氧化鈰。”顧律請吐出四個字。
“二氧化鈰？”張經理眉頭皺起。
“你們這沒有這種拋光液？”顧律問。
“呃……沒有。”林經理老老實實的回答。
老實說，這種拋光液，在國內都不常見。
“那你們這瓶三氧化二鋁拋光液，是從外面買過來的，還是自己製備的？”顧律接着問。
林經理開口，“我們自己做的，我們有一條專門的生產線。”
他們海躍公司，除了售賣一些半導體材料外，拋光液也是他們的產品之一，不過貨量不大。
除了自產自銷的一些外，沒多少流入市場上。
顧律倒是不意外。
拋光液這東西生產起來不復雜，搭建一條生產線很簡單。
“帶我過去看看吧，我試試能不能製作出來二氧化鈰拋光液。”顧律看向張經理，緩緩開口。
張經理愣了一下，“您……親自制作？”
顧律聳聳肩，輕鬆的語氣，“沒必要那麼大驚小乍，這東西沒什麼技術含量，只要材料有，稍微有點化學常識的人都會弄。”
“走吧，帶我去看看。”顧律挑挑眉。
“那這邊……”林經理指着快要結束拋光過程的設備，猶豫的開口。
“不用再繼續看了，反正結果肯定和你們之前得到的一樣。沒必要浪費時間。”
“好吧，那顧先生，這邊請。”
拋光液生產線放在了工廠那棟五層小樓的頂樓。
走進房間，可以看到兩名員工在裡面忙碌的工作着。
顧律來到實驗臺，看了一眼桌上瓶瓶罐罐拜訪的那一堆化學試劑，然後掃了一眼整個房間內的大致設備，淡淡笑了笑。
“運氣還不錯，製備二氧化鈰的材料和設備基本都有，接下來，交給我就好了。”
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