這時，樑宋鬆也半蹲了下來，目光一直盯着主體系統的接駁機構。他想找出故障的原因，證明自己的猜想沒有錯。
“我們這臺光刻機的接駁機構是測繪以後的仿製，沒有原始圖紙，精度沒保障。所以說，就是個接駁機構出了問題。”仔細觀察了半天，樑宋松果斷的下結論，認爲還是光刻機主體系統出了故障。
他這套理論倒是有點道理，可跟兩套系統組合以後的質量缺陷有啥聯繫？
故此，萬寧古根本不同意樑宋鬆的意見，“激光光路系統和光刻機主體系統是剛性連接，跟這套接駁機構有啥關係？”
剛性連接只要保證連接機構的穩定就行，不會對兩套機構的性能穩定性造成影響。再說了，這套接駁機構使用液壓鎖定方式來確保穩定性，根本不會影響光刻機兩套系統的穩定性。
萬寧古對光刻機的結構非常熟悉，一下子就排除了樑宋鬆的論斷。按照他的設想，衆人不要在這套接駁機構的穩定性上做深層挖掘。
這時，眉頭緊鎖的許振鳴稍稍一擡眉，瞥了一眼身旁的萬寧古。“老萬，光刻機的震動量、電磁雜波干擾等方面，會不會影響到光刻機的穩定性？”
“嗯…肯定會有影響的。要不然，光刻機的工作環境要求非常高，基礎要有防震動設施，現場電磁雜波要做屏蔽措施。”
萬寧古皺着眉頭說道，心裡還在考慮着其他的影響因素。在他看來，這次檢測要麻煩許多了，要把光刻機主體系統的組件一一拆開，分開檢查測試才行。
而這時，站在不遠處的郝寧教授忽然一拍大腿，“我知道是什麼原因了，應該是震動波的共振造成的，或者是電磁雜波頻率跟激光波的頻率有互相干擾。”
郝寧教授是光學專家，在光波學、電磁波學等專業領域是權威人士。他經過許振鳴一提醒，瞬間來了靈感，說出一個讓許振鳴感到高深莫測的觀點。
光波和電磁波的粒子、波兩種形態，許振鳴在自學高中物理的時候有所涉及，可已經早就忘得差不多。而郝寧教授的觀點又涉及到量子物理的理論，他哪能搞得懂？
不但許振鳴搞不懂，現場的萬寧古和樑宋鬆兩位專家級人物也只能說略懂皮毛。專家都在自己的領域裡稱雄，出了領域跟平常人的差距不是那麼大的。
故此，萬寧古激動的站起身來，盯着郝寧教授大聲問道：“郝教授，你說說看，這臺光刻機的缺陷到底是怎麼回事？”
“有這種可能麼？”樑宋鬆此時也半信半疑的站起身來，狐疑目光一直落在郝寧教授的臉上。
郝寧教授此次此刻非常激動，連連點頭，“一定是這個問題。還是許董的眼光比較準，一下就能找到這臺光刻機的缺陷所在。”一邊說話，他一邊拿出筆記本，把今天的靈感記錄下來。
做好這些，他朝衆人大笑着說：“我們大家都知道共振的原理。這臺光刻機主體系統的震動波若是跟激光光路系統的震動波頻率一致，就會產生共振現象。倘若這臺光刻機主體系統的電磁雜波頻率跟激光的頻率一致……”
“激光也會產生共振現象！”這時，在場的所有人都異口同聲的說道。
在場的衆人都技術員，普通物理知識還是知道一些的。他們這些人，也包括許振鳴都瞬間聽懂了郝寧教授的理論。
“既然這樣，咱們還愣着幹啥，開始幹活吧！”許振鳴現在的心情很不錯，笑嘻嘻的朝大夥兒掃了一眼。
“哈哈…原來是波的問題！”
“就是不知道是哪套系統的波有問題？還是電磁雜波有問題？”
技術員們開着玩笑，開始拆卸接在主體系統上的傳感器。
他們準備把這套傳感器接到激光光路系統上面，測試一下這套激光光路系統的電磁雜波頻率和震動頻率等。至於那激光頭裡射出的激光光束頻率，工作站的電腦裡早就有了數據。
………
………
就這樣，一個小時以後，兩套系統的測試數據已經被打印出來。
“許董，原來是震動波的問題。咱們的光刻機主體系統和激光光路系統的震動波頻率非常接近，肯會產生共振現象。”萬寧古揚了揚手中的A4打印紙，臉上露出開心笑。
這一番折騰下來，他都操碎了心。現在能準確定位這臺光刻機故障缺陷的原因，他怎麼能不喜出望外？
許振鳴也是如此。通過這一番的科普，他對第三代KrF光刻機的原理也算比較精通了。雖然不能像萬寧古、樑宋宋、郝寧這些專家那樣精通，要是去忽悠外行人，保準沒問題。
更深層的原因是，許振鳴通過這一番實驗，對這臺國產第三代光刻機的性能有把握。
“我們集團公司總算跨出了那麼一小步。國產第一臺KrF光刻機將會在不久的未來誕生，而且就誕生在我的手中。嘿嘿……”許振鳴笑的也很開心。
他笑嘻嘻的問心情激動的萬寧古，“老萬，咱們既然找到了原因，什麼時間能解決這個缺陷？”
“應該很快的許董！老樑你說是不是？”萬寧古笑嘻嘻的跟鬱鬱寡歡的樑宋鬆開玩笑。
樑宋鬆此時的心情很複雜，慶幸自己沒草率出頭，說出自己的論斷設想，“這要是在會議上提出這臺光刻機的故障缺陷原因，我現在應該出醜了。”
他冷冷的想着，複雜的目光看向許振鳴，“他怎麼能觀察到是接駁機構出了問題？”
樑宋鬆的內心戲非常多，此時其實已經想好了一個解決這種故障的好辦法。但這種時刻，他不想說出來，免得再次受到挫折。
這時，郝寧教授來到許振鳴的身旁。“許董，我建議咱們召開一個技術討論會議，在會議上通過討論解決這個問題。”他非常謹慎，沒在自己不擅長的領域亂下結論。
“對對對！郝教授說得非常有道理。要完美解決這個技術問題，咱們應該集思廣益才行。許董，我建議應該擴大參加技術討論會議人員的範圍，老胡、老章他們這些人都要來參加。”
萬寧古喜笑顏開的跟許振鳴提建議。他這個提議倒是有建設性，可以一攬子解決兩臺光刻機的技術缺陷問題。
但許振鳴此時卻不這麼想，而是伸手看了看手腕上的手錶，“現在是晚飯時間，咱們先吃飯，然後再做決定。呵呵……”