美打壓爆破口？中芯7奈米出貨竟不用EUV 臺積電老將1句神分析

中芯低調出貨7奈米晶片，外媒認爲是複製臺積電的7奈米技術。（示意圖/達志影像/shutterstock）

大陸晶圓代工龍頭中芯近年遭受美國政府制裁，無法取得打造先進製程的極紫外光（EUV）微影設備，但外媒報導，中芯採用7奈米制程生產比特幣挖礦晶片，消息一出，引發外界關注，更好奇沒有艾司摩爾（ASML）的EUV，中芯如何做出7奈米晶片。臺積電前研發副總、浸潤式微影之父林本堅之前表示，以中芯來說，不一定要用到高階昂貴EUV機臺，以現有設備應該能做到5奈米制程，但技術研發是否到位很重要。

研調機構TechInsights報告指出，從比特幣挖礦業者MinerVa旗下產品的SoC晶片，發現採用中芯7奈米來製造，這款晶片2021年7月起就開始出貨，進一步分析，中芯7奈米技術可能是複製臺積電7奈米制程技術。

美國極力阻止大陸半導體崛起，要求艾司摩爾不要賣給大陸EUV微影設備，如今中芯能使用現有設備生產 7 奈米晶片， 甚至向更先進5奈米制程推進。TechInsights認爲，中芯若提升良率，撐起經濟規模，有機會超越格芯，成爲全球製程技術排名第三的半導體代工廠。

由於生產設備和材料取得不易，加上華爲遭美方打壓的慘痛教訓，中芯扛着大陸半導體自主化的重責大任，近來行事作風也轉趨低調，製程發展也不再全面公開。

目前在半導體制造產業中，只有臺積電、三星等導入EUV設備先進製程技術，並進入規模量產，臺積電3奈米預計在2022年下半年量產，而受到美國製裁的中芯，外界對其印象仍停留在14奈米以上節點。

中芯沒有EUV機臺，先進技術就無法推進嗎？Digitimes科技網報導，臺積電前研發副總林本堅認爲，微影技術及產能的投資成本很高，以中芯來說，不一定要用到高階昂貴EUV機臺，以現有設備應該能做到5奈米制程，但技術研發是否到位很重要。

艾司摩爾除了不賣EUV給大陸，美國還施壓要求停止向大陸出售深紫外光（DUV）微影設備。儘管DUV不是最先進的晶片製造設備，但對製造各種電子產品所需要的晶片來說，仍是不可或缺的。

報導指出，半導體業者表示，DUV機臺多用在成熟製程晶片生產，中芯若想迂迴以DUV多重曝光，來達到與EUV的13.5奈米波長等效，在整體成本與良率上，將付出更高昂代價。