飛驤科技申請橫向激發體聲波濾波器的製造方法及射頻模組專利，降低難度和成本，提高濾波器的良率和結構穩定性

金融界2024年7月28日消息，天眼查知識產權信息顯示，深圳飛驤科技股份有限公司申請一項名爲“橫向激發體聲波濾波器的製造方法及射頻模組“，公開號CN202410827321.2，申請日期爲2024年6月。

專利摘要顯示，本發明適用於半導體工藝技術領域，尤其涉及一種橫向激發體聲波濾波器的製造方法及射頻模組，所述製造方法利用硅基和光敏玻璃各自優異特性，在製造過程中通過對光敏玻璃曝光和退火，獲得作爲犧牲層的結晶化玻璃，完成圖形化轉移，這個過程不涉及空腔光刻、刻蝕和鍍膜，減少了工藝步驟，能夠降低難度和成本，提高濾波器的良率和結構穩定性；同時，結晶化玻璃與未結晶化的光敏玻璃具有高的刻蝕選擇比和極低的寄生電阻電容，可簡單精確地控制腔體刻蝕，獲得理想的空腔結構，並能夠降低器件插損，提高濾波器整體性能。

本文源自：金融界

作者：情報員